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反应）在高温下生成氢气和三氯硅烷、三氯化铁、三氯化铝、四氯化硅等气体。
之后利用这些气体不同的沸点通过冷凝和蒸馏塔分离出三氯硅�
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反应）在高温下生成氢气和三氯硅烷、三氯化铁、三氯化铝、四氯化硅等气体。
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